鋁基板介電常數(shù)
鋁基板介電常數(shù)是一種鋁基板專用檢測方法,是通過介電常數(shù)及介質(zhì)損耗因數(shù)測量,為變Q值串聯(lián)諧振法,將試樣與調(diào)諧電容串聯(lián)接入高頻電路,測量串聯(lián)回路的Q值的原理。 鋁基板性能方面包括剝離強度、表面電阻率、最小擊穿電壓、介電常數(shù)、燃燒性和熱阻等要求。 近年來,半導(dǎo)體工業(yè)界對低介電常數(shù)材料的研究日益增多,材料的種類也是五花八門。然而這些低介電常數(shù)材料能夠在鋁基板集成電路生產(chǎn)工藝中應(yīng)用的速度卻遠沒有人們想象的那么快。其主要原因是許多低介電常數(shù)材料并不能滿足鋁基板集成電...
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